Transmisor de punto de rocío de gas de alta pureza / medidor de punto de rocío en línea- proveedores globales

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Transmisor de punto de rocío de gas de alta pureza / medidor de punto de rocío en línea

En muchas aplicaciones de gas ultrapuro, como en la industria de semiconductores, la humedad residual en el gas es crucial para el funcionamiento norm

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En muchas aplicaciones de gas ultrapuro, como en la industria de semiconductores, la humedad residual en el gas es crucial para el funcionamiento normal del procesamiento del proceso. Durante mucho tiempo, el seguimiento continuo y la medición de la humedad han sido una dificultad, que requiere el uso de Analizadores de humedad complejos o técnicas de análisis caras. Sin embargo, El medidor Michel ha lanzado actualmente al mercado un esquema simple, económico y bastante eficaz para medir el valor del punto de rocío en línea, con un límite inferior de hasta - 120 ° C sorprendente (equivalente a menos de 1 ppb)._V).

El transmisor pura es el primer transmisor de bajo precio adecuado para la industria de fabricación de semiconductores y aplicaciones de gas ultrapuro, basado en muchos años de experiencia profesional en la producción y verificación de sensores de punto de rocío de resistencia en medidores mixel, combinados con materiales y procesos de fabricación industrializados estándar.

Aspectos destacados

Límite inferior de medición - punto de rocío a 120 ° c (1 ppb_V(...)
Medición estable y buena repetibilidad
Dispositivo de muestreo altamente integrado
Salidas analógicas y digitales
Instalación simple
Interfaz de proceso de vídeo
Diseño compacto y pequeño
La unidad de visualización / alarma es opcional

Indicadores técnicos

sensor
Tipo de sensor	Sensor de humedad de cerámica Michel
Rango	- 120 ~ - 40 ° C punto de rocío (verificado a - 100 ~ - 40 ° c)
Precisión	± 1 ° C -40 ~ -60 ° C; ± 2 ° C -61 ~ -100 ° C; ± 4 ° C - 101 ~ - 120 ° c (estimación)
resolución	0,1 ° C -40 ~ -79,9 ° C; 1 ° C -80 ~ -100 ° C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C
estrés	10 - 9 Torr mínimo; Máximas 24 MPA
Flujo de gas	1 ~ 5 Nl / min
Eléctrico
Fuente de alimentación	Normalmente 24 V dc, 10 V mínimo a 28 v máximo, corriente máxima 25 ma
salida	Salida 4 - 20 ma, el rango correspondiente se puede ajustar por software especial, el rango de ajuste es de 1 a 80 ° c (proporcionado por el estándar) Carga máxima = 100 Omega + 50 Omega X (fuente de alimentación V - 8)
Estado de error de salida	La información de error de salida estándar es la siguiente: 23 Ma = falla del sensor; 20 Ma = límite superior; 4 Ma = límite inferior
Propiedades mecánicas
Manga del sensor	Acero inoxidable, pulido interior galvanizado de 0,1 - 0,2 ra micr
Puerto de conexión de la vía de gas	Tipo Premium o oem: interfaz VCR de 188 'm Tipo pura sensor: interfaz VCR de medio 'm
Configuración de instalación	Tipo Premium o oem: 120,00 mm de largo, sello facial en el puerto de la vía de gas. No es necesario reservar huecos en las tuberías Hay 2 agujeros de montaje M4 X 0,7, de 7 mm de profundidad en la base, con una distancia transversal y vertical de 20 x 20 mm en el lado opuesto oblicuo. Tipo pura sensor: adecuado en el puerto de medio 'vcr proporcionado por el usuario
tamaño	Tipo Premium o oem: 120 x 35 X 150 mm Sensor Pura 型: 132 x 35 mm
peso	Modelo Premium o oem: 450g Sensor Pura 型: 180g
embalaje	Pura: embalaje de doble capa, sellado con gas inerte Tipo pura OEM o pura sensor: envase de una sola capa Todas las opciones: transporte de envases independientes El tipo sensor tiene su propia funda protectora en el extremo del chip sensor para el transporte y la operación.

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