- Descripción del producto
Análisis de tetraclorosilano cromatógrafo de iones de helioEs adecuado para la detección de trazas de impurezas en gases de la industria electrónica, y la concentración de detección pequeña puede alcanzar 5ppb. El instrumento está equipado con un detector de ionización de helio de alta sensibilidad, que utiliza la tecnología de corte central de huaai company, y las válvulas de entrada de muestra tienen un camino de gas de protección de soplado; Toda la máquina está diseñada con una caja de múltiples columnas y está equipada con un sistema de corrección automática de la presión de inyección para garantizar la cantidad de inyección de muestras con diferentes bases. Los productos han ganado sucesivamente el proyecto de nivel a de transformación de logros de alta tecnología en shanghai.
Silicio (sihcl3) contenido (fracción de volumen) / L0-6 ≤ | 400 | 25 | |
Diclorosilano (sih)2Cl2) contenido (fracción de volumen) / L0-6 ≤ | 400 | 25 | |
Metildiclorosilano (sicl)2CH4) contenido (fracción de volumen) / L0-6 ≤ | 200 | 50 | |
Contenido de elementos metálicos y otros elementos | (boron + aluminio) (b + al) contenido / (μg / kg) ≤ | - - | 0.1 |
(fósforo + arsénico) (p + as) contenido / (μg / kg) ≤ | - - | 0.3 | |
Contenido de galio (ga) / (μg / kg) ≤ | - - | 0.5 | |
Contenido de antimonio (sb) / (μg / kg) ≤ | - - | 0.5 | |
Contenido de indio (in) / (μg / kg) ≤ | - - | 0.5 | |
Contenido de calcio (ca) / (μg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Contenido de cromo (cr) / (μg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Contenido de hierro (fe) / (μg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Contenido de potasio (k) / (μg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Contenido de sodio (na) / (μg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Contenido de níquel (ni) / (μg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Contenido de molibdeno (mo) / (μg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Contenido de manganeso (manganeso) / (μg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Contenido de cobre (cobre) / (μg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Contenido de cadmio (cd) / (μg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Contenido de cobalto (co) / (μg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Contenido de zinc (zinc) / (μg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Contenido de vanadio (v) / (μg / kg) ≤ | 1 | 0.5 |