Resumen

Las plantas de fabricación de semiconductores, los centros de nanotecnología, las nanofábricas y otros centros de fabricación e investigación de precisión suelen combinar salas limpias con sistemas de suelo falso móviles para cumplir con los complejos requisitos de las instalaciones (tuberías, cables, gasoductos, etc.) y mantener estrictos estándares de limpieza. Este suelo no es adecuado para equipos de producción, detección y medición sensibles a las vibraciones. El suelo móvil no puede proporcionar el ambiente de vibración tranquilo necesario para estas herramientas. La isla Quiet de TMC ofrece una solución innovadora al reemplazar parte de la zona de suelo móvil por una "isla tranquila" anclada al suelo inferior inferior. La isla Quiet incluye la parte superior de una plataforma compatible con la Sala limpia y una estructura de soporte específica para la aplicación y el sitio.

Eliminación de vibraciones

Los principales componentes de soporte y la tecnología central de Quiet Island *, están integrados en el sistema de eliminación activa de vibraciones stacis III. Este sistema de soporte de amortiguación inercial "rígido" es ideal para cualquier instrumento sensible a la vibración, lo que permite que este tipo de herramientas funcionen con altos estándares en entornos ruidosos. Stacis III es compatible con herramientas automatizadas de procesamiento de obleas, herramientas de imagen de haz de electrones de alta resolución, herramientas de fresado de haz de iones y cualquier herramienta con sistemas de aislamiento interno pasivo o activo (consulte nuestro Libro Blanco sobre apilar aisladores activos en aisladores activos). Además, también proporciona un rendimiento de aislamiento de vibración de * * En un amplio rango de frecuencia. Y el diseño de "instalación dura" es muy duro, por lo que no habrá problemas de Estabilidad para herramientas más altas y ligeras.

Tubos y soportes verticales

Las tuberías verticales extremadamente robustas y duraderas para soportar el aislador de vibración stacis están diseñadas por un experimentado equipo de ingeniería de TMC y fabricadas por nuestra fábrica ISO 9001 de acuerdo con altos estándares y especificaciones de certificación de soldadura. Cada isla Quiet está cuidadosamente diseñada para adaptarse a diversas alturas de suelo móvil, geometría del suelo inferior y dimensiones de herramientas. TMC ha instalado miles de dispositivos en todo el mundo que admiten más de 200 modelos de instrumentos diferentes, con un amplio conocimiento y experiencia, y puede diseñar estructuras de soporte que satisfagan las necesidades de stacis y sus instalaciones.

Plataforma rígida

La plataforma está compuesta por un entrepiso de placa de acero de 4 pulgadas (100 mm) de espesor diseñado y fabricado por tmc, en el que la placa de acero está sujeta alrededor de un material de núcleo ligero, incompresible y amortiguador. El efecto de estratificación de la placa de acero rígida y el núcleo Unidos a un disco de acero inoxidable sin costura con resina epoxi proporciona una rigidez extremadamente alta y amortiguación estructural. Las grandes secciones transversales y el contenido de acero producen una rigidez general muy alta. La parte superior y los lados son una carcasa continua de acero inoxidable integrada para mantener la limpieza, la belleza y la integridad. El TMC puede diseñar y fabricar plataformas específicas de la aplicación según sea necesario, incluyendo cortes, formas especiales, agujeros de fijación y pernos de anillo.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Ventajas de la isla Quiet

La tecnología de eliminación de vibración piezoeléctrica activa, el diseño de "instalación dura" y el aislamiento de vibración que comienza en 0,6 Hz son compatibles con las herramientas de aislamiento de vibración incorporado, utilizando la industria stacis - TMC *.

Flexibilidad de modularidad, personalización y reposición - cada plataforma se adapta a las aplicaciones de los clientes, pero a diferencia de las plataformas de hormigón, que pueden reconfigurarse fácilmente si se cambian las características de las herramientas o del suelo.

Experiencia - TMC tiene una amplia experiencia en la cooperación con fabricantes de semiconductores, instituciones de investigación científica y OEM de ultraprecisión de *. Entendemos a los clientes y sus necesidades. Diseñamos y fabricamos nosotros mismos.

Rendimiento

En la isla Quiet de 24 pulgadas de altura, 40 pulgadas x 60 pulgadas, en cuatro soportes stacis,
Medición de la tasa de transmisión bajo la entrada de VC - C desde el suelo

Especificaciones

Especificaciones de rendimiento

Requisitos de diseño, tamaño, medio ambiente y utilidad del aislador de vibraciones

Especificaciones del controlador DC - 2020

Otros parámetros

OtrosConfiguración de la isla Quiet

Los instrumentos grandes que no tienen especificaciones de vibración ambiental suelen requerir un soporte rígido y estable separado del suelo móvil. La isla rígida Quiet es la solución ideal. La rígida quinet Island tiene la misma parte superior de la Plataforma de alto rendimiento y también se puede personalizar para salas limpias de suelo móviles a cualquier altura, cualquier geometría de suelo inferior y varios tamaños de herramientas. El TMC ofrece una serie de diferentes tipos de pilares para satisfacer diversas necesidades, formando así una solución modular, flexible de reposicionamiento y actualización específica de instrumentos y plantas.

Foto de la aplicación

Debido a la instalación en nuestra isla Quiet ® Complejidad, sensibilidad y valor de los dispositivos en la plataforma terrestre subyacente, no hemos creado un catálogo estándar para pedidosNo.

Creemos que cada plataforma debe diseñarse de manera personalizada para aplicaciones específicas. Los pasos de pedido recomendados son los siguientes:

▪ Cuéntanos el equipo o instrumento que quieres aislar. Debido a que hemos instalado miles de dispositivos, es posible que tengamos un diseño de plataforma que cumpla con los requisitos de su aplicación. Además, mantenemos un estrecho contacto con los fabricantes de pasos, alineadores, SEM y otras herramientas, por lo que entendemos las nuevas especificaciones de tamaño, forma, cambio de peso y vibración del suelo.

▪ O, es posible que desee una plataforma adecuada para sistemas de red terrestre activos. Los clientes suelen elegir plataformas de 47 x 47 pulgadas (1190 x 1190 mm) para reemplazar las baldosas pares.

▪ Cuéntanos que su suelo móvil es más alto que el suelo inferior sólido.

▪ Por favor, describa o proporcione una ilustración que muestre cualquier patrón de agujero en su suelo inferior o en la geometría de la viga de acero / celosía.

▪ Por favor, proporcionenos datos de vibración del suelo o discuta con nosotros cómo organizar la medición de estos datos.

▪ Se considera la sensibilidad a la vibración del instrumento. Nuestro diseño de pilares rígidos y no resonantes proporciona un soporte adecuado para muchas herramientas. Las aplicaciones más sensibles requerirán soporte de aire o piezo