Microscopio metalográfico LeicaDM12000MUtilizando principios ópticos, la muestra medida se coloca en una plataforma de observación en el microscopio y la imagen de la muestra se amplifica en las gafas del microscopio reflejando o transmitiendo luz. Bajo las características de dispersión y absorción de la luz de la muestra, el fenómeno de la imagen de la muestra en el momento de la imagen cambia constantemente con los cambios de los parámetros. Los observadores pueden juzgar la microestructura y la estructura de la muestra en función de este cambio.

Características del microscopio metalográfico Leica dm1200m:

I. el nuevo diseño óptico puede proporcionar una detección inicial rápida del modo macro y una función de canal ultravioleta inclinado (ouv, modo de observación ultravioleta inclinado), lo que no solo mejora la resolución, sino que también mejora la capacidad de inspección de pastillas de silicio de 12 pulgadas (300 mm). La nueva tecnología de iluminación LED está integrada en el diseño y la integración en el microscopio, y la radiación de bajo calor y la tecnología integrada en el fuselaje garantizan el Estado ideal de flujo de aire fuera del fuselaje.

2. al acortar el uso de la inspección, el microscopio metalográfico Leica dm1200m mejora la eficiencia de la inspección. el anexo de enfoque automático de la iluminación de inspección de luz transmitida del anexo de enfoque automático puede cooperar con todos los métodos de Observación de iluminación de luz reflejada, incluso el campo de visión oscuro y la observación de contraste de fase de interferencia diferencial. Lograr un enfoque automático rápido y preciso, e incluso encontrar el plano focal con precisión en tiempo real durante la conversión del modo de observación.

En tercer lugar, los dos dispositivos de iluminación son opcionales, tipo universal y tipo de apertura numérica alta. Para fpd, la inspección de la placa Mask proporciona una iluminación adecuada y puede estar equipada con un espejo de desviación para lograr una simple observación de polarización de la luz proyectada. El sistema óptico ultravioleta del módulo de espectrómetro de fluorescencia, un método de observación fluorescente para la inspección de residuos fotorresistentes, con alto contraste, mayor resolución y mayor potencia, puede proporcionar un mayor contraste y resolución, con una resolución de hasta 0,12 micras.

En cuarto lugar, hay una variedad de métodos de fluorescencia opcionales, como u.b.g., para la inspección de residuos de pegamento óptico y oled. La interfaz de comunicación conveniente se utiliza para el control de la multiplicación del microscopio y la apertura y los parámetros para obtener rs232c para obleas y dispositivos, e incluso el accesorio de Observación de infrarrojo cercano de inspección interna de la soldadura incluye una interfaz rs232c, lo que hace posible controlar la parte eléctrica del microscopio con PC y permite que varios microscopios En la línea de proceso funcionen en el mismo Estado de configuración.

V. incluye accesorios especiales como lentes infrarrojas para corregir la distorsión de la luz desde la luz visible hasta la banda de infrarrojo cercano para exámenes profundos o internos de ic, lo que puede lograr una inspección completa del paquete wafer. los accesorios automáticos de medición de CD de ancho de línea para la medición de CD de alta precisión se pueden lograr con Tecnología subpixel.

6. el diseño de ahorro de energía de bajo consumo de energía amplía en gran medida la vida útil y se ajusta al concepto de protección del medio ambiente Verde. El diseño de control de un solo clic permite a los usuarios completar fácilmente la conversión de potencia y los efectos de iluminación y contraste de fase relacionados.