CZA-4N/FX系列惰性气体纯化器

CZA-4N/FX系列
    惰性气体纯化器的原理是利用合金吸附剂在高温中能与氧气、氮气、水、二氧化碳和烃类等杂质反应生成稳定化合物或固溶体的性质来把氩气、氦气、氖气、氙气等惰性气体中的上述杂质除去，从而达到纯化之目的，净化后得到的高纯气体已广泛用于半导体、电子、冶金、锂电池制造、光纤等产业部门的分析和科学研究中。
产品特点
n 净化程度深，不仅能除去O₂等较活泼的杂质，而且还可以除去N₂等惰性杂质，这是一般净化机办不到的；
n 本纯化器为双塔结构，一组工作，另一组备用，顶两台净化机使用；
n 工作温度较低，能耗少。
n 本系列纯化器配置有预净化塔，在合金吸附塔之前已经除去了较活泼的杂质，故极大地延长了合金吸附塔的使用寿命
技术参数

设备名称	设备型号	工作方式	备 注
惰性气体纯化器	CZA-4N	半自动	Ar
	FX□-Z	半自动	□选Ar、He、Xe、Ke或Ne
原气要求 Ar、He	纯  度	≥99.99%一般瓶装纯氩，液氩
	杂质要求	O2≤200PPm, H2O≤1000PPm，N2≤100PPm
输出纯气	纯  度	≥99.9999%
	杂质含量	O2≤0.5PPm；N2≤0.5PPm；H2O≤1PPm(即露点≤－76℃)； CO+CO2≤0.1PPm；尘埃粒子数（≥0.3μm）3-5个／升
工作压力	0～1.0MPa
处理气量	1～4Nm3/h
备 注	可根据用户要求设计制造