Atonarp Process Control spectrometry Aston ™ Especificaciones técnicas:

Herramientas generales para el control de procesos en tiempo real, gases resistentes a la corrosión, anticoagulación
Plataforma in situ de análisis molecular para la fabricación de semiconductores, que proporciona datos en tiempo real y operativos
Fuente de ionización de plasma, sin incandescencia, más duradera
Se puede integrar completamente con herramientas de producción en masa.
Aston ™ Analizador de espectrometría de masas de procesoComo plataforma potente, puede reemplazar una variedad de herramientas tradicionales, proporcionando niveles de control sin precedentes, incluyendo litografía, grabado y depósito dieléctrico y conductor, limpieza de cámaras, emparejamiento de cámaras y digestión.

Aston ™ Analizador de espectrometría de masas de procesoParámetros técnicos

Atonarp Aston™ Aplicaciones: un desarrollo importante en el control y optimización de procesos de semiconductores, mejorando la producción, el rendimiento y la eficiencia de los procesos de fabricación de semiconductores
Aston ™ Es un espectrómetro de masas compacto en línea de nuevo diseño, robusto y duradero, adecuado para el monitoreo y control de gases en aplicaciones de fabricación de semiconductores y control de procesos industriales, alta precisión y tiempo real se combinan con la solidez y fiabilidad de la producción, como el análisis de detección de gases de escape Dry Pump de semiconductores, para lograr el Monitoreo y diagnóstico en línea.
CVD / ald: transición óxido - nitruro y análisis de composición
Etch/ALE End Point :<0.3%
Cámara matching: identificar moléculas de rastreo


Si necesita saber másAtonarp Aston ™ Espectrómetro de masas en líneaPara más información o discusión, consulte los siguientes datos de contacto:
Shanghai bodong: Miss ye, Taiwán bodong: Miss Wang
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: + 86 1391 - 883 - 7267 (mismo número de wechat) m: + 886 - 939 - 653 - 958

Algunas marcas reclutan sinceramente agentes cooperativos, y las personas interesadas son bienvenidas a ponerse en contacto con la señorita SHANGHAI BO dongye 1391 - 883 - 7267.
¡Todos los derechos de autor de Shanghai bodong, ¡ la copia debe ser investigada!