Resumen de la Plataforma de aislamiento de vibraciones activas

STACIS ® III es un sistema flexible y activo de aislamiento de vibraciones. El sistema de plataforma de aislamiento activo de vibraciones stacis utiliza sensores de vibración inercial avanzados, algoritmos de control avanzados y accionamientos piezoeléctricos para filtrar el movimiento del suelo midiendo continuamente la actividad del suelo y luego expandiendo y contrayendo los accionamientos piezoeléctricos para eliminar la vibración en tiempo real.

El stacis *, diseñado originalmente para aislar equipos de microlitografía, medición y detección de precisión en fábricas avanzadas de semiconductores, se ha convertido en una solución estándar de la industria para instrumentos sensibles en entornos ruidosos (incluyendo, pero no limitado a, fábricas de semiconductores, laboratorios de análisis de fallas, investigación de nanotecnología, instalaciones de nanofabricación y centros de investigación de materiales).

El sistema de plataforma de aislamiento activo de vibraciones stacis III incluye un nuevo controlador digital mejorado DC - 2020. Este nuevo sistema de control *, con nuevos procesadores de doble núcleo, Ethernet y puertos serie USB en los paneles delantero y trasero, ofrece a los usuarios una interfaz de usuario gráfica moderna y fácil de usar (gui). Con cientos de casos de instalación exitosos en todo el mundo, stacis es un sistema ideal de aislamiento de vibraciones para instrumentos sensibles a la vibración.

Ventajas del sistema de plataforma de aislamiento activo de vibraciones stacis III

El stacis es cientos de veces más duro que el amortiguador de aire y no tiene limitaciones en ningún sistema de aislamiento de aire. No tiene una suspensión "suave" y, a diferencia del sistema de aire activo, el stacis puede colocarse debajo de una herramienta con un sistema interno de aislamiento de vibraciones de aire activo para que ambos sistemas funcionen en un Estado *.

El diseño único en serie y la tecnología piezoeléctrica de alta fuerza propietaria permiten un ancho de banda activo amplio de 0,6 Hz y un rendimiento de aislamiento activo de amortiguación del 90% a partir de 2 hz.

Características del sistema de plataforma de aislamiento de vibraciones activas stacis III

▪ ** El controlador digital DC - 2020 recién mejorado ofrece una interfaz de usuario gráfica fácil de usar

▪ El aislamiento comienza en 0,6 Hertz y alcanza una tasa de aislamiento del 40% a 1 hz.

▪ Aislamiento vertical y horizontal superior al 90% con una frecuencia de 2 Hertz y superior

▪ Reducir los requisitos de infraestructura y los costos de construcción, incluso con equipos de vibración externa más grandes, puede funcionar normalmente.

▪ Rango de aislamiento de vibración efectivo, 0,6 Hz a 150 Hz

▪ Ampliamente reconocido y afirmado por muchos usuarios

▪ Diseño de montaje duro de 6 DOF sin suspensión de aire

▪ El potente sistema de control no necesita ser recalibrado regularmente

▪ El esquema de diseño punto - de - uso es perfectamente compatible con el sistema de aislamiento de vibraciones existente del cliente.

▪ A medida que cambia el entorno externo, el sistema se ajusta automáticamente para adaptarse a diferentes situaciones de vibración externa.

▪ El stacis de TMC ® La tecnología utiliza un ejecutor piezoeléctrico para eliminar activamente la vibración

▪ Controlador digital e interfaz de usuario gráfica basada en PC (gui)

▪ Mejorar la producción, la calidad y la tasa de productos terminados de los clientes.

▪ Cumplir con los estándares RoHS

▪ ** Amplio ancho de banda de aislamiento activo de vibraciones, * efecto de aislamiento de vibraciones de baja frecuencia

▪ Eliminación de vibraciones activas en mhz, * aislamiento de vibraciones principalmente en la banda de 0,6 - 6 Hz

▪ Diseño apilable

▪ Estructura de montaje dura activa, en lugar de suspensión blanda, sin deriva de baja frecuencia, componentes activos conectados a resortes rígidos

▪ El resorte pasivo filtra la resonancia de la carga del sensor stacis y requiere muy poca sintonía, incluso sin necesidad de sintonía.

▪ El aislador interno del instrumento es compatible debido a un desajuste de Resistencia

▪ Carga hasta 2.000 kg

▪ Sistema de aislamiento activo de vibraciones en el mercado

Rendimiento de la Plataforma de aislamiento activo de vibraciones

Prueba de carga útil de 4.500 libras (2.045 kilogramos) con vibraciones simuladas de VC - C (500 μin / s, 12,5 μm / S rms)

Especificaciones de la Plataforma de aislamiento de vibraciones activas

Especificaciones de rendimiento

Usuarios y áreas de aplicación de stacis

1. microelectrónica, semiconductores

▪ Detección de obleas

▪ Técnica de microlitografía

▪ Calibración de la máscara

2. investigación científica, nanotecnología

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3. Mesa láser

▪ Ciencias de la vida, investigación y desarrollo de medicamentos

4. aplicaciones industriales

▪ Mecanizado de precisión

¿¿ por qué elegir un sistema de aislamiento activo de vibraciones?

▪ A partir de menos de 1 hz, se eliminan fuertemente las vibraciones del suelo, y la plataforma neumática no puede desempeñar un aislamiento efectivo de las vibraciones en esta baja frecuencia.

▪ Mejorar la calidad y la producción

▪ Capacidad de imagen de características más pequeñas

▪ Investigación de vanguardia

▪ Más estable que una plataforma neumática

▪ Soluciones que cumplen con los parámetros de instalación del sitio estándar de Sem

▪ Hacer que las obras de nuevos laboratorios y equipos de investigación sean más baratas

¿¿ por qué el sistema de aislamiento activo de vibraciones eligió stacis?

▪ Golpeó las voces de los investigadores científicos y proporcionó el entorno sísmico más libre posible.

▪ El fuerte sistema de aislamiento de vibraciones de baja frecuencia en el mercado.

▪ En la actualidad, todos los fabricantes de Sem han anunciado los requisitos de los parámetros de instalación, y los parámetros de vibración que necesitan deben ser satisfechos por el sistema de aislamiento activo de vibraciones.

▪ Stacis *, inventado en 1990s, ha desarrollado e instalado miles de sistemas de aislamiento activo de vibraciones después de un mayor desarrollo de tmc, que es una solución confiable proporcionada en el campo del control de aislamiento activo de vibraciones.

El stacis es cientos de veces más rígido que el aislador neumático.

Como respuesta a la perturbación, el tiempo de estabilización se reduce considerablemente debido a un diseño único en serie, que es ideal para la fabricación mecánica, la carga dinámica, el láser o la encimera rígida independiente que la fuente de luz necesita instalar.

Las siguientes ventajas son * En la industria.

▪ El ancho de banda de aislamiento activo de vibración de stacis es de 0,6 Hz a 150 hz.

▪ Eliminación de vibraciones activas de 6 grados de libertad, aislamiento de 8 - 10db a 1hz

▪ A partir de 2 - 3hz, el aislamiento de vibración puede alcanzar el 90% (20db)

Encuesta ambiental profesional

1. investigación ambiental antes y después de la instalación, incluyendo vibraciones, campos magnéticos, ondas sonoras

2. después de la instalación, se puede proporcionar la certificación del sistema del sistema ambiental.

▪ Servicios perfectos de investigación ambiental

▪ Emisión de informes ambientales profesionales

▪ Proporciona vibraciones, campos magnéticos, detección acústica y soluciones

▪ TMC recomienda soluciones prácticas a los usuarios basadas en su amplia experiencia

▪ Más de 40 años de experiencia en la industria, en la industria * *

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