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Plataforma activa de aislamiento de vibraciones stacis IIIC
Visión general stacis III IC es una versión compacta del sistema de aislamiento de vibraciones activas stacis III *. Proporciona el mismo excelente ai
Detalles del producto
Resumen
El stacis III IC es una versión compacta del sistema de aislamiento activo del stacis III *. Proporciona el mismo excelente aislamiento de vibración a una altura reducida.
El statis III IC es muy adecuado para su uso en suelos móviles sin o con pisos muy bajos, ya que la altura del sistema estándar del statis III hace que el instrumento sea demasiado alto.
En la configuración del triple aislador, la altura del aislador es inferior al 60% de la altura del stacis III convencional. En un sistema con más de tres aisladores, la altura oscilará entre el 60% y el 70%, dependiendo de la configuración de la carga útil. Para más detalles, consulte las especificaciones a continuación.
Ventajas del TACIS IIIC
La altura del aislador se redujo en un 42% más en comparación con el sistema convencional stacis iii, mientras que el rendimiento no se redujo.
El stacis es cientos de veces más fuerte que el amortiguador de aire y no tiene limitaciones en ningún sistema de aislamiento de aire. No tiene una suspensión "suave" y, a diferencia del sistema de aire activo, el stacis puede colocarse debajo de una herramienta con un sistema interno de aislamiento de vibraciones de aire activo para que ambos sistemas funcionen en un Estado *.
Diseño único en serie y tecnología piezoeléctrica exclusiva de alta fuerza
Se puede lograr un ancho de banda activo amplio de 0,6 Hz a 150 Hz y un rendimiento de aislamiento activo de vibración del 90% a partir de 2 hz.
Rendimiento
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
Especificaciones de rendimiento
Especificaciones
| Grado de libertad activa | 6 |
| Ancho de banda activo | 0.6 Hz - 150 Hz |
| Frecuencia natural pasiva | 18 Hz vertical y horizontal |
| Frecuencia de resonancia activa efectiva | 0.5 Hz |
| Aislamiento de vibraciones a 1 Hz | 40% - 70% |
| Aislamiento de vibraciones a ≥ 2 Hz | ≥ 90% |
| Tiempo de estabilización después de la entrada de paso de 10 libras (4,5 kilogramos) (menos 10: 1) |
0,3 segundos |
| Ruido interno | <0.1 nm RMSd> |
| Rango de carga de trabajo de cada aislador de vibración | Baja capacidad de carga: 400 - 1.100 libras (181 - 499 kilogramos) Capacidad de carga media: 900 - 2100 libras (408 - 953 kilogramos) Alta capacidad de carga: 1900 - 4500 libras (862 - 2041 kilogramos) |
| Rigidez (1000 libras / 454 kilogramos de masa, aislador de vibración de capacidad de carga media) | 40.000 libras por pulgada (73 x 105Vaca / metro) |
| Campo magnético emitido desde el aislador de vibración a distancia * * 4 pulgadas (102 mm) | <0.02 μG broadband RMSd> |
Requisitos de diseño, tamaño, medio ambiente y utilidad del aislador de vibraciones
| Medio Ambiente y Seguridad | Cumplir con las normas CE y RoHS |
| Elemento de aislamiento de vibración activo | * El pequeño aplicador piezoeléctrico con una capacidad de carga de 3.300 libras (1.500 kilogramos) recibe señales del amplificador de alta tensión, que emite hasta 800 vdc. La carga útil del soporte del ejecutor vertical para el aislamiento de vibraciones |
| Elemento de aislamiento pasivo de vibraciones | Un solo elástico isotrópico duro (sin fuente de aire comprimido) |
| Elementos del sensor de vibración | Sensor inercial tipo detector sísmico hacia abajo para medir la vibración del suelo debajo del aislador de vibración y proporcionar un voltaje proporcional a la velocidad de movimiento de la vibración |
| Circuito de control de retroalimentación activa | Medir, procesar y atenuar la vibración del suelo debajo del resorte que soporta la superficie de aislamiento de vibraciones |
| Tamaño del aislador de vibración (ancho x profundidad X altura) | 14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height. |
| Peso del aislador de vibraciones | 53 libras (24 kg) |
| Temperatura de trabajo | 50 ° - 90 ° F 10 ° - 32 ° C |
| Temperatura de almacenamiento | - 40 ° - 130 ° F - 40 ° - 55 ° C |
| Humedad | 30 - 60% |
| Requisitos de alimentación del sistema | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W Cumplir con la norma CE |
| Desplazamiento del suelo | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
| Número de amortiguadores por sistema | Al menos 3 |
| Anexo opcional | Plataforma de acero inoxidable laminado, marco, tubo vertical, dispositivo de nivelación, dispositivo sísmico, cubierta de elevación |
Especificaciones del controlador DC - 2020
| Tamaño (ancho x profundidad X altura) | 19 x 8,5 x 1,75 pulgadas 483 x 216 x 45 mm |
| Peso | 6,3 libras (2,9 kilogramos) |
| Procesador | Doble núcleo de 150 / 75 MHz |
| Tasa de muestreo | 10 kHz |
| Salida analógica | 16 accesos |
| Entrada analógica | 16 accesos |
| Luz de Estado | Un solo LED |
| Puerto del panel frontal | 1 USB serie 2.0 1 micro - USB en serie 1 Ethernet RJ - 45 2 BNC |
| Puerto del panel trasero | 1 USB serie 2.0 1 Ethernet RJ - 45 1 serie tradicional RS - 232 DB - 9 para aislamiento de vibración tradicional stacis 2100 |
| Interfaz de usuario | Pantalla LCD del panel frontal Menú de caracteres en el superterminal Gui extendida para Microsoft Windows Interfaz gráfica Ethernet integrada |
Usuarios y áreas de aplicación de stacis
1. microelectrónica, semiconductores
▪ Detección de obleas
▪ Técnica de microlitografía
▪ Calibración de la máscara
2. investigación científica, nanotecnología
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3. Mesa láser
▪ Ciencias de la vida, investigación y desarrollo de medicamentos
4. aplicaciones industriales
▪ Mecanizado de precisión
¿¿ por qué elegir un sistema activo?
▪ A partir de menos de 1 hz, se eliminan fuertemente las vibraciones del suelo, y la plataforma neumática no puede desempeñar un aislamiento efectivo de las vibraciones en esta baja frecuencia.
▪ Mejorar la calidad y la producción
▪ Capacidad de imagen de características más pequeñas
▪ Investigación de vanguardia
▪ Más estable que una plataforma neumática
▪ Soluciones que cumplen con los parámetros de instalación del sitio estándar de Sem
▪ Hacer que las obras de nuevos laboratorios y equipos de investigación sean más baratas
¿¿ por qué el sistema activo elige stacis?
▪ Golpeó las voces de los investigadores científicos y proporcionó el entorno sísmico más libre posible.
▪ El fuerte sistema de aislamiento de vibraciones de baja frecuencia en el mercado.
▪ En la actualidad, todos los fabricantes de Sem han anunciado los requisitos de los parámetros de instalación, y los parámetros de vibración que necesitan deben ser satisfechos por el sistema de aislamiento activo de vibraciones.
▪ Stacis *, inventado en 1990s, ha desarrollado e instalado miles de sistemas de aislamiento activo de vibraciones después de un mayor desarrollo de tmc, que es una solución confiable proporcionada en el campo del control de aislamiento activo de vibraciones.
El stacis es cientos más rígido que el aislador neumáticoVeces
Como respuesta a la perturbación, el tiempo de estabilización se reduce considerablemente debido a un diseño único en serie, que es ideal para la fabricación mecánica, la carga dinámica, el láser o la encimera rígida independiente que la fuente de luz necesita instalar.
Las siguientes ventajas son * En la industria.
▪ El ancho de banda de aislamiento activo de vibración de stacis es de 0,6 Hz a 150 hz.
▪ Eliminación de vibraciones activas de 6 grados de libertad, aislamiento de 8 - 10db a 1hz
▪ A partir de 2 - 3hz, el aislamiento de vibración puede alcanzar el 90% (20db)
Encuesta ambiental profesional
1. investigación ambiental antes y después de la instalación, incluyendo vibraciones, campos magnéticos, ondas sonoras
2. después de la instalación, se puede proporcionar la certificación del sistema del sistema ambiental.
▪ Servicios perfectos de investigación ambiental
▪ Emisión de informes ambientales profesionales
▪ Proporciona vibraciones, campos magnéticos, detección acústica y soluciones
▪ TMC recomienda soluciones prácticas a los usuarios basadas en su amplia experiencia
▪ Más de 40 años de experiencia en la industria, en la industria * *
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